




實驗供氣系統(tǒng)使用安全注意事項
1.易1燃易1爆氣體:此類氣體只要形成了可燃氣體爆1炸混合氣和達到著火溫度。便會發(fā)生燃燒爆1炸事故因此在可燃氣體入口處、氣體鋼瓶存放間、潔凈室
內使用可燃氣體處、敷設可燃氣體的管廊或技術夾層以及可能聚集可燃氣體的場所均應設置可燃氣體報警裝置。具體要求如下:
①可燃氣體比空氣輕者,報警裝置設置在所處場所的頂部。
②可燃氣體比空氣重者,報警裝置設置在所處場所的1低處。
③可燃氣體的報警裝置應與相應的事故排風裝置設電氣連鎖,當空氣中的可燃氣體濃度達到規(guī)定值時,事故排風裝置自動開啟,同時向潔凈廠房的消防安全值班室發(fā)出報警信號。
④為防止倒流回火應在用氣設備的支管上設置阻火器,在排入大氣的排氣管道上,為防止排氣時突遇雷電襲1擊阻止火焰蔓延至可燃氣體管道引發(fā)燃燒爆1炸事故,必須在排氣管道上設置阻火器。
⑤可燃氣體在適當?shù)墓艿捞帒鼋拥兀拥仉娮钁舷嚓P規(guī)定。
⑥各種可燃氣體管道系統(tǒng)均應設置能引入氮氣等惰性氣體的接口及相應的檢測口,以便在可燃氣體供應系統(tǒng)使用前后或檢修動火前后對其系統(tǒng)進行吹掃置換,但是惰性氣體吹掃接口在正常運行中不能與氣體鋼瓶或惰性氣體管道相通,以避免影響氣體質量。
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特種氣體使用安全
首先,應對特氣的危害性進行分析,通過本質安全設計,消除安全隱患。根據(jù)行業(yè)規(guī)范,對特氣房選址、安全間距、防火分區(qū)、房間通風、電氣防爆等進行評估。管道設計應進行保壓和氦測漏,確保系統(tǒng)密閉性。鋼瓶和管道閥門應選用隔膜或波紋管密封閥門。高純氣體的輸送管路系統(tǒng)隨著微電子工業(yè)的發(fā)展,超大規(guī)模集成電路制造的硅片尺寸越做越大,要求半導體制造工藝中的氣體品質相應越來越高,對氣體中雜質和露1點要求極為嚴格,需要達到ppb、ppt級,塵埃粒徑求控制小于0。管道系統(tǒng)應采用焊接系統(tǒng),機械接頭均應置于抽風罩內。排放氣體應進行安全處理。氣體輸送設備具有緊急切斷功能。操作應遵循標準操作規(guī)程。
其次,采用監(jiān)測手段,預防事故發(fā)生。設置氣體泄漏偵測器,監(jiān)控氣體泄漏。可燃性氣體應設置高溫或火焰?zhèn)蓽y器。危險氣體應設置過流開關。試驗室集中供氣系統(tǒng)的特點1、特點:試驗室要求使用載氣流量恒定、氣體純度高,為試驗室選用的分析設備提供量值和壓力穩(wěn)定的氣體。特氣系統(tǒng)氣柜應進行負壓監(jiān)測,防止抽風系統(tǒng)的失效。偵測系統(tǒng)應與報警和緊急切斷連鎖。系統(tǒng)還應進行遠程監(jiān)控。監(jiān)控系統(tǒng)應設置不間斷電源。
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實驗室氣體管道設計要求
了解實驗室設計的都知道:實驗室的任何的設計都是有規(guī)格要求的,出了這個要求的范圍那么實驗室的設計就有漏洞,就不合格,就容易發(fā)生事故。實驗室的氣體的排放是非常重要的,如果說實驗室氣體管道設計不合理,工作人員就容易出事,甚至嚴重的就會有生命危險。實驗室的氣體的排放是非常重要的,如果說實驗室氣體管道設計不合理,工作人員就容易出事,甚至嚴重的就會有生命危險。
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